WCT-120PL  -使用光致发光传感器的硅片寿命测试仪

同时使用标准光电导（QSSPC）方法，和光致发光（QSSPL）方法，对载流子复合寿命进行校准测量。

产品概述

WCT-120PL硅片寿命测试工具包含了WCT-120仪器独特的测量和分析技术的同时，又增加了光致发光（PL）传感器，以基于PL信号测试寿命和掺杂水平。准稳态光电导（QSSPC）寿命测试方法和瞬态光电导衰减寿命测试方法都增补了校准的基于PL信号的寿命测试。也可以简单地将工具作为标准的WCT-120使用。

WCT-120PL系统功能

主要应用:
用QSSPC或瞬态寿命测试，以及PL寿命测试，对制造工艺进行逐步监控和优化。

其他应用:

  • 监测初始材料质量
  • 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染
  • 评估表面钝化和发射极掺杂扩散
  • 使用隐含Voc测试，估计加工过程引起的并联电阻
  • 基于QSSPL和QSSPC数据迭代计算衬底掺杂

更多信息

请下载WCT-120PL产品说明书以获取产品的主要功能、规格和其他信息。WCT-120PL product note (PDF).

获得报价

Sinton Instruments的WCT-120PL的测试结果包含校准的PL寿命曲线，和校准的QSSPC寿命曲线，二者结合可以获取很宽的载流子浓度范围的寿命数据。